2022Q1营收同比较快增长。22年Q1前道设备企业累计实现营业收入50.05亿元，同比增长41.18%；后道设备企业累计实现营业收入18.94亿元，同比增长12.47%。
最近5个季度毛利率总体水平稳定，前道设备企业持续提高，后道设备企业保持稳定。21Q1到22Q1，逐季度毛利率分别为，前道设备（39.3%、39.26%、39.62%、41.05%、43.92%）、后道设备（58.86%、56.42%、56.00%、55.99%、57.12%）。
半导体设备公司股东中，机构持仓占比相较去年Q4大幅降低。22年Q1机构持仓比例较去年Q4处于低位。21Q4到22年Q1，机构持仓比例陡降：算数平均（由46.76%降至37.83%）、中位数（由44.37%降至35.48%），分别降低8.93个百分点、8.89个百分点。更多机构持仓向大市值公司集中。
市销率估值已经降低至历史低位水平。我们统计了半导体设备公司的PS（TTM）中位数，已经降至近40个月低位水平。
风险提示：下游景气度不及预期风险，国产替代进度不及预期风险。
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