投资建议
行业策略：半导体设备零部件在产业链中举足轻重，数量庞大、种类繁多，市场碎片化特征明显。在自主可控加速背景下，随着下游国产设备厂商崛起，国内半导体零部件优质厂商有望复制国产半导体设备公司在过去两年的加速渗透路径，迎来份额和业绩的加速期。
推荐组合：推荐关注各细分领域优质厂商，富创精密（金属工艺件、金属结构件、气体管路等）、江丰电子（腔体、喷淋头等各种金属件居多，布局非金属件）、新莱应材（半导体管阀核心零部件供应商）、正帆科技（工艺介质供应系统，GasBox）、华亚智能（金属结构件）等。
行业观点
零部件是半导体设备基石，全球市场规模接近500亿美元，中国大陆市场超过900亿元人民币。半导体设备厂商绝大部分关键核心技术需要以精密零部件作为载体来实现。一般来说，零部件采购额占据半导体设备生产成本的90%，叠加晶圆厂的耗材更换需求，我们测算2021年全球半导体零部件市场规模接近500亿美元，国内市场超过900亿元。
半导体零部件种类繁多，市场呈现碎片化特征。半导体零部件可以划分为机械类、电器类、机电一体类、气?
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