零部件是半导体设备行业的支撑，市场规模近600亿美元，中国大陆市场超千亿人民币：半导体行业遵循“一代技术、一代工艺、一代设备”的产业规律，而半导体设备的升级迭代，在很大程度上有赖于精密零部件的关键技术突破。半导体零部件按照服务对象，可以分为半导体设备商采购的零部件，以及晶圆厂直接采购的零部件。考虑到两部分需求，我们预计2022年全球半导体设备商采购、晶圆厂直接采购的半导体零部件市场规模约为591亿美元，中国大陆对应市场规模约为161亿美元（合1121亿元人民币）。
零部件行业市场集中度较低，欧美日企业为主：从全球角度看，过去20年发展历程看，关键设备子系统的前10大供应商市场地位较为稳固，特别是金融危机之后的几次重大并购，使得行业巨头的地位更加稳固。但总体上看，半导体零部件市场集中度仍然较低，碎片化特征明显。根据我们测算，2020年前十大厂商收入规模约为75-80亿美元，按照80亿美元计算，对应CR10约为21%。
技术壁垒较高，国产化率普遍较低。国产化率超过10%的零部件主要以石英件（Quartz）、气体喷淋头（Showerhead）、边缘环（Edgering）等机械类?
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