半导体量测设备是第四大制程设备环节，诞生大公司KLA。量测设备的市场规模小于刻蚀、薄膜沉积设备、光刻机，但大于清洗设备、CMP、离子注入、Track、电镀等环节。2021年，量测设备全球市场规模104亿美元，占WFE市场的11%，而刻蚀209亿美元占23%，薄膜沉积207亿美元占22%，光刻机171亿美元占19%。量测设备环节龙头KLA，2022自然年收入指引101.5-104.5亿美元，同比增长24%-28%
国内外半导体量测设备市场都被美日欧垄断。根据中科飞测招股说明书，2020年全球半导体量测设备主要被KLA、AppliedMaterials、日立高科技、Lasertec、Onto、ASML、Nova、Camtek等垄断；中国大陆市场同样被KLA、AppliedMaterials、日立高科技、Lasertec、ASML等垄断，其中美、日、欧的量测设备厂商份额分别不低于64%、11%、3%，美国厂商份额最高。
半导体量测设备国产化率低。根据精测电子最新投资者关系活动记录，在前道量测领域，本土生产线的国产设备供给率较低。2021年，国内量测设备龙头企业上海精测半导体、中科飞测销售收入分别为1.11亿元、3.61亿元。国产厂商的收入规模较小，国产品牌的市场份
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